| 年度 |
設備名稱 |
負責老師 |
儀器分級 |
確定開放時間 |
| 93 |
Mask Aligner
光罩對準機
|
周 雄
趙健祥 |
B |
95.03.27 |
| Focus Ion Beam
聚焦離子束 |
張鼎張
曾百亨 |
B |
94.11.15 |
| PC-cluster and
Software 電腦叢集集高效能工作站 |
蔡秀芬 |
B |
94.02.15 |
| Supporting
system (水：DI、冷卻； 氣：氦氣回收、廢棄處理系、毒性氣瓶、全區低真空系統等等) |
周 雄
張鼎張 |
|
95.12.15
|
| 94 |
Laser Annealing
and Ablation system 雷射退火及濺鍍系統 |
張鼎張
周 雄 |
B
|
96.11.01 |
| ICP-etcher and
CVD system 高濃度電漿蝕刻及化學氣相蒸鍍系統 |
張鼎張
周 雄
|
B
|
96.08.01 |
| Modification
equipments(修改捐贈系統) 半導體量測製程周邊系統
|
周 雄
張鼎張 |
|
95.9.15 |
| Low-temperature
and High-field Measurement system/PPMS 物理性質量測系統(貴儀中心) |
郭建成 |
B |
96.01.31 |
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95 |
Equipments for
the Device Process 製程週邊設備 E-beam/RTA/Sputter高真空蒸鍍及快速退火及多靶磁控濺鍍系統
|
張鼎張
周 雄 |
B
|
96.08.01
|
| Laser annealing
and ablation system 雷射退火系統週邊設備
|
張鼎張
周 雄 |
B
|
96.11.01 |
| Equipments for
the device characterization 量測週邊設備(氣瓶櫃供應系統)
|
周 雄
張鼎張 |
|
95.12.10 |
|
PC-cluster and Software 電腦叢集及高效能工作站 |
蔡秀芬 |
B
|
96.08.01
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設備建造
儀器分級說明