共用儀器

設備名稱 負責老師 助理 聯絡電話 使用規範 認證參考 相關課程 濕式蝕刻台   Wet-Bench 張鼎張教授 黃煒宸 分機 3708；0988970673 工安課程    奈米核心設施 陳韋銘 (07) 525-2000 分機3746   製程儀器 設備名稱 負責老師 助理 聯絡電話 使用規範 認證參考 相關課程 高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD)   High Density Plasma Chemical Vapor Deposition 張鼎張教授 林俊曲 分機 3708；0970780128 感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher)   Inductive Couple Plasma Etcher 張鼎張教授 陳穩仲 分機 3708；0978313678 多靶磁控濺鍍系統(Sputter)   Multi-Target Sputter 張鼎張教授 洪揚豪 分機 3708；0913836718 雙電子槍蒸鍍機 (E-Beam)   Dual E-Beam Evaporator 張鼎張教授 林俊曲 分機 3708；0970780128 快速退火系統 (RTA)   Rapid Thermal Annealing System 張鼎張教授 張凱鈞 分機 3708；0988855952 快速退火系統 (水氣) (RTA2)   Rapid Thermal Annealing System 張鼎張教授 張凱鈞 分機 3708；0988855952 光學微影系統   Mask Aligner and Exposure System 周 雄教授 蘇品方 分機 3722；0910675296 分析儀器 設備名稱 負責老師 助理 聯絡電話 使用規範 認證參考 相關課程 聚焦離子束(FIB)   Focus Ion Beam 張鼎張教授 陳彥文 (07) 525-2000 分機3746；0958537538   薄膜特性分析儀(N & K )   N & K analyzer 張鼎張教授 林歆妮 分機 3708；0956960716   三維輪廓儀(Alpha-Step)   3D Alpha-Step Profilometer 張鼎張教授 陳穩仲 分機 3708； 0978313678   四點探針   4 Point Probe 張鼎張教授 洪揚豪 分機 3708； 0913836718   傅立葉轉換中紅外線光譜儀(FTIR)   Fourier Transform Infrared Spectroscopy 張鼎張教授 譚詠方 分機 3708；0963263332